濺射鍍膜的基本原理是利用帶電荷的離子在電場(chǎng)中加速后其有一定動(dòng)能的特點(diǎn),，將離子引向欲被濺射的靶電極,。在離子能量滿足一定條件的情況下,，入射的離子在與靶原子的碰撞過(guò)程中使靶原子從表面濺射出來(lái),，被濺射出來(lái)的原子帶有一定的動(dòng)能,，并且會(huì)沿著一定的方向射向基片,，從而實(shí)現(xiàn)在基片上薄膜的沉積。濺射出的粒子大多呈原子狀態(tài),，常被稱為濺射原子,。轟擊靶的入射荷能離子可以是電子、離子或中性粒子,，但因離子在電場(chǎng)作用下易于加速而獲得所需動(dòng)能,，所以大多采用離子作為轟擊粒子，稱為人射離子,。這種鍍膜技術(shù)又稱為離子濺射鍍膜(或沉積),。與此相應(yīng).對(duì)于靶而言，濺射產(chǎn)生的作用相當(dāng)于刻蝕,，因此利用濺射也可以進(jìn)行刻蝕,。淀積和刻蝕是濺射過(guò)程的兩種應(yīng)用。濺射鍍膜現(xiàn)已廣泛地應(yīng)用于各種薄膜的制備之中,，如用于制備金屬,、合金、半導(dǎo)體,、氧化物,、絕緣介質(zhì)薄膜，化合物半導(dǎo)體薄膜,，碳化物及氮化物薄膜,，高TC超導(dǎo)薄膜等。

   濺射鍍膜與真空蒸發(fā)鍍膜相比,，有以下特點(diǎn):

   (1)可以濺射任何物質(zhì),。不論是金屬、半導(dǎo)體,、絕緣體,、化合物和棍合物，也不論是塊狀,、粒狀的物質(zhì),，只要是固體，都可以作為靶材.由于濺射氧化物等絕緣材料和合金時(shí),，幾乎不發(fā)生分解和分餾,，所以可用于制備與靶材料組分相近的薄膜和組分均勻的合金膜.乃至成分復(fù)雜的超導(dǎo)薄膜。