除了制備條件之外,，材料形成非晶態(tài)的能力主要取決于其化學成分。一般來說金屬元素不容易形成非晶態(tài)結(jié)構(gòu),。這是因為金屬原子間的鍵合不存在方向性,，因而要抑制金屬原子間形成有序排列，需要的過冷度較大,。合金或化合物形成非晶態(tài)結(jié)構(gòu)的傾向明顯高于單一組元,，因為化合物的結(jié)構(gòu)一般較復雜，組元間在晶體結(jié)構(gòu),、點陣常數(shù)、化學性質(zhì)等方面存在一定差別,，而不同組元之間的相互作用又大大抑制了原子的擴散能力,。在單一組元之中，Si,Ge,C,S等非金屬元素形成非晶態(tài)結(jié)構(gòu)的傾向性較大,。這是因為這類元素形成共價鍵的傾向大,，只要近鄰原子配位滿足要求，非晶態(tài)與晶態(tài)物質(zhì)之間的能量差別較小,。例如，在有氫存在的條件下,，Si原子將形成大量的H鍵,，因而在800K沉積出的Si薄膜仍可能具有非晶態(tài)結(jié)構(gòu)。