薄膜的成核階段
在透射電子顯微鏡觀察到的薄膜形成過程照片中,,能觀測到最小核的尺寸約為20A~30A左右。在核進(jìn)一步長大變成小島過程中,,平行于基片表面方向的生長速度大于垂直方向的生長速度。這是因為核的生長主要是由于基片表面上吸附原子的擴(kuò)散遷移碰撞結(jié)合,,而不是入射蒸發(fā)氣相原子碰撞結(jié)合決定的,。這些不斷捕獲吸附原子生長的核逐漸從球帽形,、圓形變成多面體小島,。對于島的形成可用熱力學(xué)宏觀物理量如表面自由能,,也可用微觀物理量如結(jié)合能來判別,。