基片溫度對薄膜結(jié)構(gòu)也有較大影響,?；瑴囟雀?，使吸附原子的動能隨著增大,，跨越表面勢壘的幾率增大,，容易結(jié)晶化,，并使薄膜缺陷減少,，同時薄膜內(nèi)應力也會減小,。基片溫度低,，則易形成無定形結(jié)構(gòu)的薄膜,。基片溫度的選擇要視具體情況而定,。一般說來,，如果沉積的膜層比較薄，當基片溫度比較低時,，沉積室內(nèi)的金屬原子很快失去動能,，并在基片表面上凝結(jié)，這時的膜層比較均勻致密,，當基片溫度過高時反而會出現(xiàn)大顆晶粒,，使膜層表面粗糙.如果沉積比較厚的膜層，一般要求基片溫度適當高一些,，可以減少膜的內(nèi)應力,。