【技術(shù)文章】薄膜內(nèi)應(yīng)力的定義及分類 2022-01-14
在薄膜內(nèi)部任一截面上,,單位截面的一側(cè)受到另一側(cè)施加的力稱為薄膜的內(nèi)應(yīng)力,。內(nèi)應(yīng)力一般用。表示,,其單位為N/m2,。用真空蒸發(fā)、濺射,、氣相生長等方法制作的薄膜都有內(nèi)應(yīng)力,,內(nèi)應(yīng)力*時(shí)可達(dá)(10)9 N/m2,過大的內(nèi)應(yīng)力會(huì)使薄膜開裂或起皺脫落,,使薄膜元器件失效,。 ...